国数科技发布国内首款硅基压电MEMS水听器芯片
日期：2022-05-21
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作者：admin
近日，青岛国数信息科技有限公司在青岛正式发布了国内首款硅基压电MEMS水听器芯片，以及基于该芯片构建的MEMS水听器、芯片开发套件、处理软件和声学仿真平台一体化系列产品。该芯片由国数科技旗下国数微电子研发团队设计开发，是一款全自主国产化芯片，为高端水声器件与装备提供全新解决方案。
据了解，水听器即水下麦克风，是把水下声信号转换为电信号的换能器。国数科技副总裁、战略创新中心负责人杨华在新品发布会上表示，硅基压电MEMS水听器芯片，从设计到工艺，保证了器件的高一致性与低成本，在10Hz-100KHz带宽内保持高灵敏度，6mm*6mm尺寸芯片灵敏度-205dB re 1V/μPa。这是一款小尺寸、高性能、低成本的新型海洋声学探测芯片，可在环境、渔业、探测领域多场景下投入应用。
性能指标优越功耗降低30%
MEMS水听器芯片基于拥有自主知识产权的阵列式环状电极芯片架构，采用氮化铝（ALN）新型压电薄膜材料，基于微器件和半导体新工艺制备，实现了高灵敏度、高一致性、高信噪比的优越性能指标以及小型化、低功耗的尖端功能指标。
杨华说：“相较传统的压电陶瓷（PZT）和氧化锌（ZnO）等压电材料， AlN介电常数低，可与CMOS工艺兼容且不需要极化，有利于实现器件的高信噪比、高集成化。”硅基MEMS芯片能更好的实现水听器的轻量化与低功耗，与目前市面上同类的压电陶瓷类水听器产品相比，采用AlN压电薄膜的MEMS芯片的水听器尺寸减小50%，功耗降低30%。
适合更多种声学探测应用
器件的高一致性、高灵敏度和高信噪比（SNR）令国数的硅基MEMS水听器芯片适合多种环境中需要超高的动态范围、远场的声学探测应用。超高一致性的灵敏度匹配能够针对多水听器阵列优化波束成形和噪声消除算法，低功耗产品性能能够延长海洋监测应用周期。
硅基MEMS水听器芯片适用于环境、渔业、探测等应用领域：声纳设备；浮潜标观测监测平台；AUV、ROV等水下探测机器人；水声监测网网络节点；潜器表面贴装；鱼探仪；声学导引设备。
国数科技硅基MEMS水听器提供芯片级和器件级封装，由于尺寸小，可进一步拓展应用环境，提供软件和声学仿真平台支持，确保应用所需的快速开发的最佳解决方案。
填补行业“技术空白”
国数科技MEMS水听器芯片以国内领先为起点，对标、赶超国际技术现状，站在了海洋声学探测芯片发展的历史关键点，致力于为海洋声学探测器件带来性能上的突破。
新型MEMS水听器芯片的研发与应用，是团队一直以来努力的重要方向。国数科技将以解决国家技术“卡脖子”与填补“技术空白”为时代使命，不断扩大产品系列，为实现海洋强国“从芯开始，笃行不怠”，向着科技创新的巅峰出发。
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青岛国数信息科技有限公司自成立以来，经过多年的不断坚持与努力，现已发展为集产、学、研、服务为一体的创新型科技公司。公司专注于海洋通信与探测领域系统与装备的研发制造及等级维保服务，核心技术为完全自主知识产权的装备级全过程电子信号处理能力。公司以核心技术为依托，一方面瞄准海洋领域水上水下的通信与探测需求，自主研制相关领域应用装备；一方面与相关专业院所及承制单位合作，为其提供配套研发制造服务。
国数科技旗下微电子研发团队，以“海洋强国”战略为指引，以解决国家技术“卡脖子”与填补“技术空白”为时代使命，专注海洋通信与探测领域芯片研制，致力于成为海洋芯片领域的研制专家。
来源 | 青岛早报记者 刘海龙
